芯上微装第500台步进光刻机成功交付,芯碁微装光刻机多少纳米
人民财讯8月8日电，8月8日，上海芯上微装科技股份有限公司（简称：AMIES）举办了第500台步进光刻机交付仪式。此次发运的第500台步进光刻机将交付给盛合晶微，后者是集成电路晶圆级先进封测企业。
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