晶瑞电材：公司ArF高端光刻胶产品已小批量出货,晶瑞光刻胶技术突破

晶瑞电材：公司ArF高端光刻胶产品已小批量出货,晶瑞光刻胶技术突破

晶瑞电材8月13日晚间在互动平台表示，公司光刻胶产品包括紫外宽谱系列光刻胶、g线系列光刻胶、i线系列光刻胶、KrF光刻胶、ArF光刻胶。公司ArF高端光刻胶产品已小批量出货，多款产品已向客户送样并开展验证。

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